吸氣階段：轉子轉動時，進氣側的空間容積擴大，氣體被吸入轉子與泵腔形成的封閉腔室；

輸送階段：轉子帶著封閉腔室內的氣體向排氣側移動，此過程中氣體無壓縮；

排氣階段：當封閉腔室與排氣口連通時，排氣側的高壓氣體回流對腔內氣體進行壓縮，隨后氣體被排出。

羅茨真空泵通常需搭配前級泵（如旋片泵、水環(huán)泵）使用，不能單獨抽大氣，主要用于提升真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空。

吸氣階段：小腔容積從最小逐漸變大，壓力降低，通過吸氣口吸入氣體；

壓縮階段：葉輪繼續(xù)轉動，小腔容積從zui大逐漸縮小，氣體被壓縮；

排氣階段：當小腔容積縮小到最小，氣體壓力達到排氣壓力時，通過排氣口排出。

其工作液也可根據(jù)工況換成其他液體（如油、硫酸），對應稱為液環(huán)真空泵。

吸氣階段：小腔室容積逐漸增大，內部壓力降低，被抽容器內的氣體隨之流入；

壓縮階段：轉子繼續(xù)轉動，小腔室容積縮小，氣體被壓縮，壓力升高；

排氣階段：當氣體壓力超過排氣口的大氣壓和排氣閥彈簧力時，排氣閥打開，氣體被排出泵外。

泵腔內會填充真空油，起到密封、潤滑和冷卻作用，因此也叫油潤滑旋片泵。